特点
- 装备了以热传导流体（纯水）为换热器的
高精度温控设备 - 最大药液系统数量多达12个，
可配套于广泛领域的机器 - 防爆构造以及大容量集水盘设计确保较
高安全性 - 采用INV控制节省能耗
规格
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| 项目 / 型式 | RCTU-6 | RCTU-12 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 药液种类 | IPA | ||||||
| 温度调整范围 | 40℃～70℃ | ||||||
| 温控精度 | 设定温度 ±0.5℃（设备出口温度） | ||||||
| 药液系统数量 | 6系统（最大） | 12系统（最大） | |||||
| 药液流量 | Min：0L/min～Max：0.3L/min（每1系統） | ||||||
| 压力损失 | 0.03Mpa以下 | ||||||
| 加热器能力 | 达到设定温度所要时间：60min以内 | ||||||
| 药液接触部位材质 | PFA、PTFA | ||||||
| 外形尺寸 | 1090（W）×1326（D）×1898（H） | 1110（W）×1650（D）×1811（H） | |||||
| 重量 | 600kg | 700kg | |||||
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用途
- 半导体清洗工序
- 液晶清洗工序 等