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搬运机器人(半导体制造设备)
Conveyance Robot
是顺应客户要求,实现了高效生产性、高品质可靠性以及省空间化,引领时代最尖端,可适用无尘车间环境的搬运机器人。
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晶圆搬运机器人
(
真空
・
耐热350℃以上
)
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晶圆传送盒搬运机器人
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晶圆装载端口
(Short Type)
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Sherlock-300F (对应M型电路板 2D检查 台式型)
Sherlock-300B(对应M型电路板 2D检查 批量处理型)
Sherlock-300R(对应M型电路板 背面检查 在线型)
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