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搬运机器人(半导体制造设备)Conveyance Robot

是顺应客户要求,实现了高效生产性、高品质可靠性以及省空间化,引领时代最尖端,可适用无尘车间环境的搬运机器人。

产品阵容

晶圆搬运机器人
真空耐热350℃以上

晶圆搬运机器人

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晶圆传送盒搬运机器人
 

晶圆传送盒搬运机器人

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晶圆装载端口
(Short Type)

晶圆装载端口(Short Type)

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