特点
- 搭载2台机械臂，大幅度缩短晶圆传送盒的搬运时间
- 晶圆传送盒存放数可达20个以上
- 可倒式Z轴构造，应对卡车运输时高度限制问题
规格
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| 项目 / 型式 | 晶圆传送盒搬运机器人 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 搬运性能 | 最大速度：933mm/s（Z軸・Y軸） 81deg/s（吊臂軸） | ||||||
| 吊挂夹具 | 最大行程：25mm（单侧） | ||||||
| 安全结构 | 吊臂传感器（碰撞/收纳）、传送盒检测传感器 等 | ||||||
| 使用流体 | 无尘干燥空气 | ||||||
| 需要流量 | 5L/min | ||||||
| 电源 | 3相 AC200V～230V（50/60Hz） | ||||||
| 外形尺寸 | 2360（W）×960（D）×2820（H）/（2600H） | ||||||
| 重量 | 主体部分：500kg 控制箱：27kg | ||||||
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用途
- 半导体晶圆传送盒的存放和供给搬运