超临界清洗・干燥是指？
临界是指物性发生较大变化。
就CO2而言，达到临界点时就会变成介于液体和气体之间的物态，成为具有液化碳酸那样高密度的超临界CO2。超临界CO2最大的特点是，因其没有界面（液面），所以没有表面张力。利用这一特点，可以对具有极小缝隙的三维结构进行干燥的同时不会对其造成破坏。
没有表面张力的状态是指？
临界以前的IPA（异丙醇）界面
超临界状态下界面消失，
没有表面张力
超临界清洗・干燥装置对比实验例
MEMS（微机电系统）悬臂梁的狭小缝隙
由于表面张力而相互粘连
利用超临界清洗干燥方式则不会粘连
（保持原状、不会塌陷）
用途
- 连采用IPA（异丙醇）干燥都会受损的、具有超微细结构的晶圆。
- 具有纵横比较大的MEMS等微细结构的晶圆。
- 硅气凝胶那样具有纳米量级极细空间的材料制备。
- 加入添加剂、抗蚀剂等的溶解去除、剥离等。