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固定型SCRD6/8(适用6英寸、8英寸晶圆)SCRD6/8

固定型SCRD6/8(适用6英寸、8英寸晶圆)

※请将表横向滚动进行阅览。

种类 SCRD6 SCRD8
使用流体 CO2
使用压力 15MPa
使用温度 40℃
腔室 内径φ160×40mm 内径φ230×20mm
安全功能 电气安全装置、机械安全装置、防过热保护
控制面板 采用触摸屏进行运转程序设定
尺寸 (W)700×(D)640
×(H)985mm(含手柄)
(W)840×(D)785
×(H)1,040mm(含手柄)
重量 約150kg 約230kg
电源 AC100V±10% 50/60Hz 16A (Max)
备注 SCRD6腔室 腔室
  • 大容量腔室
    SCRD6:内径φ160mm×深度40mm
    SCRD8:内径φ230mm×深度20mm
  • 可放入IPA(异丙醇)等溶剂作为清洗助剂使用并可替换。
  • 腔室内部装备有温度传感器,准确测量温度。

腔室开闭结构
通过手柄升降方式轻松实现腔室开闭。

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