特長
- 熱伝達流体（純水）とする熱交換器を備えた
高精度温調機 - 最大薬液系統数を12chとした幅広い機器への
搭載 - 防爆構造および大容量ドレンパンによる
高い安全性 - INV制御による省エネ化
仕様
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| 項目 / 型式 | RCTU-6 | RCTU-12 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 薬液種類 | IPA | ||||||
| 温度調整範囲 | 40℃～70℃ | ||||||
| 温調精度 | 設定温度 ±0.5℃（装置出口温度） | ||||||
| 薬液系統数 | 6系統（最大） | 12系統（最大） | |||||
| 薬液流量 | Min：0L/min～Max：0.3L/min（1系統当り） | ||||||
| 圧力損失 | 0.03Mpa以下 | ||||||
| ヒーター能力 | 設定温度到達時間：60min以内 | ||||||
| 薬液接触部材質 | PFA、PTFA | ||||||
| 外形寸法 | 1090（W）×1326（D）×1898（H） | 1110（W）×1650（D）×1811（H） | |||||
| 重量 | 600kg | 700kg | |||||
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用途例
- 半導体の洗浄工程
- 液晶の洗浄工程 他