特長
- 2KWの高精度中型ACU（温調：±0.1℃）
- 1190ｍｍ（W）×570ｍｍ（D）×510ｍｍ（D）のコンパクトサイズ
- INV制御による省エネ化
仕様
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| 項目 / 型式 | RＡCU-20VXC | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 冷凍能力 | 2KW | ||||||
| 設定可能範囲 | 15℃～30℃ | ||||||
| 温調精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 風量調整範囲 | 2.1m3/min～4.3m3/min | ||||||
| 使用周辺環境 | 温度：20℃～26℃ 湿度：35%RH～55％RH | ||||||
| 電源 | 3相 AC200V～240V（50/60Hz） | ||||||
| 外形寸法 | 570（W）×510（D）×1190（H） | ||||||
| 重量 | 85kg | ||||||
| 使用冷媒 | R410A | ||||||
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用途例
- ウエハ製造装置の熱源機器
- 液晶製造装置の熱源機器
- 基板露光機の熱源機器
- 医療装置 他