特長
- 発熱体として、高効率カーボンヒーターを採用
- 熱効率向上による省エネ
（対ハロゲンヒーター比） - 抵抗値の長期安定化によるヒーターの長寿命化
- 高精度フィルター搭載（オプション）による
微細パーティクル対策
仕様
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| 項目 / 型式 | RHDIW150A | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 液種類 | 超純水 | ||||||
| 設定温度範囲 | 25℃～85℃ | ||||||
| 温調精度 | 設定温度±1℃以内 | ||||||
| 薬液流量 | 38L/min（標準） | ||||||
| 圧力損失 | 0.027MPa以下 | ||||||
| ヒーター能力 | 147kw（カーボンヒーター） | ||||||
| 純水接触部材質 | 石英、フッ素樹脂 | ||||||
| 電源 | 3相 AC220V～480V ±10% | ||||||
| 外形寸法 | 1010（W）×1260（D）×2120（H） | ||||||
| 重量 | 520kg | ||||||
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用途例
- 半導体の洗浄工程
- 液晶の洗浄工程
- 薬液の希釈加熱 他