特長
- 全長（高さ）をショート化した特殊仕様
- ショート化による設置装置のフットプリント
縮小 - ISOクラス1のクリーン度に対応
仕様
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| 項目 / 型式 | LPS | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 対応キャリア | 300mm 25枚Foup（SEMI E47.1 準拠品） | |||||||
| 対象ウエハ | 300mm Si ウエハ | |||||||
| 動作時間 | LOAD / UNLOAD：8±1sec（マッピング無） | |||||||
| LOAD / UNLOAD：14±1sec（マッピング有） | ||||||||
| 電源 | DC24V | |||||||
| 外形寸法 | 470（W）×590（D）×910（H） | |||||||
| 重量 | 50kg | |||||||
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用途例
- 半導体製造装置のインターフェイス（ウエハ出入れ）