特長
- 350℃以上の耐熱設計
- 1×10E-6Paの真空構造
- ISOクラス1のクリーン度に対応
- ウエハサイズ300mm～450mmに対応
仕様
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| 項目 / 型式 | ウエハ搬送ロボット（真空・耐熱） | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 繰返し精度 | X軸：±0.1mm | |||||||
| θ軸：±0.006deg | ||||||||
| Z軸：±0.05mm | ||||||||
| 真空シール方法 | 磁性流体シール、溶接ベローズ | |||||||
| アーム駆動方式 | スチールベルト（ステンレス） | |||||||
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用途例
- 半導体ウエハ製造装置用 ウエハ搬送
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