Pegasus-600I基板コーティング装置 インラインタイプ
2種類のノズル+AOIによる最適な塗布作業の実現
フィルムコートノズル | |
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推奨塗布幅 | 10mm |
推奨クリアランス | 10mm |
塗布方向 | 0°~180° |
ニードルノズル | |
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付属ニードル | 内径:0.41mm 外径:0.71mm 針長:L=13mm ※針長さはL=50mmまで |
推奨塗布幅 | 3mm |
推奨クリアランス | 3mm |
装置内蔵カメラで画像を認識
基板全体の画像をモニタで見ながら直感的に塗布エリアを指定
- 基板撮影画像を使用したティーチングデータ作成
- 基板の表裏、搬送方向の判別
- 基準位置読取りによる塗布位置補正
- 塗布後の禁止エリアへの飛散、未塗布箇所の検出
塗布エリアの簡単設定
- 塗布範囲を任意に指定
- 自動ノズル選定
- 塗布経路シミュレーション
画像処理を用いて塗布状態の確認
- UV照明で塗布状態を確認
- 検査機能を一体化し塗布不良を検出
オプション
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品名 | 写真 | 機能 |
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装置制御用パソコン・モニター | - | 塗布・検査を実行するパソコン。ティーチングデータの作成・編集も可能。 |
オフラインティーチングソフト | - | 装置稼働中にオフラインでティーチングデータの作成編集が可能。 |
タンクヒータ | シリコンラバーヒータをタンクに巻き付けることで防湿剤を保温し、コーティング状態を安定させる。 ※ヒーター使用時の装置電源はAC200V(単相) |
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操作スイッチ | 上下流装置との連結が不要なバッチ生産ラインでの使用時、コーティング開始操作が可能。 | |
インライン生産時、塗布検査でNGとなった場合、基板を下流に流すかどうかの選択操作が可能。 (※オプションコンベヤとセットで動作可能) |
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コンベヤ | 上下流装置との連結用400mm延長コンベヤ。 生産ラインに合わせた搬送方向の選択が可能。 (上流側 又は 下流側のみ取付け可能) 搬送方向:右→左(標準)、左→右の選択が可能 |
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仕様
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検査対象基板 | Mサイズ | ○ |
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Lサイズ | × | |
寸法 | 50mm(幅)×50mm(奥)~ 330mm(幅)×250mm(奥) |
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基板厚 | 0.5~2.0mm | |
基板最大質量 | 3kg | |
基板高さ制限(クリアランス) | 上面 | 80mm |
下面 | 80mm | |
塗布範囲 | 330mm × 250mm ※基板端4mm(搬送しろ)は不可 |
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塗布ノズル | フィルムコート:推奨塗布幅 10mm ニードル :推奨塗布幅 3mm |
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塗布方向 | 0°~180° | |
塗布速度 | 250~500mm/s | |
繰り返し位置精度 | ±50μm | |
カメラ | 有り(基板挿入方向確認、塗布検査) | |
照明 | 電球色LED+UV LED | |
塗布検査項目 | 塗り残し、はみ出し、禁止領域への飛散 | |
検査可能サイズ | Φ1mm以上 | |
検査速度 | 2,200mm2/s | |
基板流れ方向 | 左←右(標準仕様)/左→右(注文時選択) | |
搬送コンベア幅調整 | 自動 | |
搬送部高さ | 920±50mm | |
モニター | 10.1インチタッチパネルモニター | |
PC | OS | Windows 10 Pro 64bit 日本語 / 英語(言語は出荷時選択) |
メモリ | 8GB | |
装置間インターフェース | SMEMA規格準拠 | |
使用環境条件 | 10~35℃ / 30~80%RH(結露無きこと) | |
保管環境条件 | -10~60℃ / 30~80%RH(結露無きこと) | |
電源 | AC100~240V(単相) 50/60Hz |
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消費電力 | 300VA | |
供給エア | 圧力:0.5MPa 消費量:5Nℓ/min |
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本体寸法(突起部含まず) | W770×D960×H1,490mm *搬送部高さ900mm時 |
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重量(PC含まず) | 250kg |
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