※表は横にスクロールしてご覧ください。
使用流体 | CO2 |
---|---|
使用圧力 | 14MPa |
使用温度 | 40℃ |
チャンバー | 内径φ110×26mm |
安全機能 | |
電気的安全機構、機械的安全機構、異常過熱防止機構 | |
制御パネル | タッチパネルによる運転プログラム設定 |
外寸 | (W)600×(D)450×(H)400mm(ハンドルを含む) |
重量 | 約60kg |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
※表は横にスクロールしてご覧ください。
ホーム » 製品情報 » 超臨界洗浄・乾燥装置 » 卓上型SCRD4(4インチウエハ用)
※表は横にスクロールしてご覧ください。
使用流体 | CO2 |
---|---|
使用圧力 | 14MPa |
使用温度 | 40℃ |
チャンバー | 内径φ110×26mm |
安全機能 | |
電気的安全機構、機械的安全機構、異常過熱防止機構 | |
制御パネル | タッチパネルによる運転プログラム設定 |
外寸 | (W)600×(D)450×(H)400mm(ハンドルを含む) |
重量 | 約60kg |
電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
※表は横にスクロールしてご覧ください。